Фото-приборы

© fastdl.org

Электронное торможение рассчитывали по формуле Линдхарда-Шарфа-Шиотта с экспериментальными поправками, известными из литературы; суть поправок в учете массы и заряда ионов, составляющих твердое тело. Данный метод расчета был протестирован для нескольких комбинаций ион-мишень, данные о пробегах для которых приведены в известных из литературы таблицах. Сравнение показало совпадение с точностью около 10%. Аналогично сравнение полученных нами расчетных данных с экспериментальными результатами по внедрению ионов бора в КРТ показало хорошее совпадение, особенно для высоких энергий ионов.
Для ионного легирования в КРТ главный интерес представляет профиль радиационных дефектов, возникающих в процессе внедрения ионов, поскольку дефекты в подрешетке ртути определяют концентрацию электронов проводимости. Применяя модифицированную модель Кинчина-Пиза к профилю потерь энергии в ядерных столкновениях, получали профили радиационных дефектов. Видно, что слой толщиной 0.5 мкм практически полностью маскирует мишень - подложку КРТ - от проникновения имплантанта, а слой толщиной 0.2 мкм оставляет большую часть радиационных повреждений внутри мишени КРТ.
Исходный материал КРТ имеет р-тип проводимости, которая обеспечивается либо вакансиями ртути в катионной подрешетке, либо межузельным теллуром. Первый случай характерен для материала, выращенного из стехиометрических расплавов; второй случай относится к эпитаксиальным слоям КРТ, кристаллизованным из теллуровых растворов. Контролируемым по давлению и температуре отжигом материал переводят из р-типа в материал п-типа проводимости. Концентрацию межузельного теллура можно уменьшить в определенных пределах – и, естественно, и концентрацию дырок – если каким-либо образом перевести этот теллур в нейтральное состояние. Экспериментально было установлено, что внедрение фтора, который сам по себе в КРТ неактивен как примесь, снижает концентрацию дырок в 2-3 раза; одновременно происходит стабилизация электрофизических характеристик материала, что весьма благоприятно сказывается, в частности, на сохраняемости изделий.
Реакция образования гексафторида теллура имеет наибольшую величину стандартной энергии Гиббса, что и приводит к связыванию межузельных атомов теллура в электрически нейтральный комплекс.

Pages: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22