Фото-приборы

© fastdl.org

технология корпусирования: отклеивание – погружение в растворитель клея с небольшим нагревом, до 400С максимум, при небольших сдвиговых усилиях; резка – алмазный диск, защита фоторезистом, до отклеивания от носителя; приклейка при монтаже в корпус – с помощью т.н. криогенного или хладостойкого клея, не дающего сдвиговых деформаций; вопрос окон – для длинноволнового диапазона использовали просветленный германий, сульфид или селенид цинка поликристаллический; для коротковолнового диапазона использовали сапфир, просветленный германий, сульфид кадмия и сульфид цинка; заполнение пространства внутри корпуса газом – для снижения тепловых потерь при невысоких требованиях к герметичности корпуса, т.е., простой его конструкции, корпус заполняли осушенным ксеноном; корпус в случае охлаждения термобатареей, в криостате и без охлаждения – конструкция корпуса в каждом случае определяется применением детектора в измерительном комплексе.

Качество металлизации – адгезионная прочность, механическая прочность – оценивали по результатам приварки микропровода ультразвуком. Режимы приварки: установка УЗМ-1,5, провод марки А999К02, диаметр 27 мкм, площадь иглы 80х100 мкм2, давление на игле 24 грамма. Адгезия металлических слоев к диэлектрическим покрытиям улучшается, если диэлектрический слой композитный: ZnS-Al2O3.

Металлические слои
Выбор материала металлического слоя определяется следующими факторами:
- металл должен обеспечивать омический контакт,
- должен удовлетворять режимам взрывной фотолитографии,
- обеспечивать возможность ультразвуковой приварки.
С физической точки зрения для материала КРТ п-типа наиболее применимы индий и алюминий. Однако оба эти металла образуют с ртутью амальгаму, и, кроме того, индий очень пластичный. Поэтому для планарной конструкции приборов на основе КРТ обычно используют двухслойную систему: подслой переходного металла, имеющего ничтожную растворимость в ртути и поверх него слой алюминия. При этом металл подслоя должен иметь малое удельное сопротивление и работу выхода, меньшую, чем работа выхода у КРТ п-типа. Исходя из этих условий, были опробованы системы Ni-Al, Cr-Al, Ti-Al, Mo-Al, W-Al. Установлено, что напыление W и Mo технологически очень сложно. Использование титана и хрома вместо никеля преимуществ не имеет, за исключением случаев, когда в качестве диэлектрика используется SiOx . По результатам предварительных исследований была выбрана система Ni-Al.
Для нанесения многослойной композиции типа металл-металл использовали метод электронно-лучевого испарения с многопозиционным тиглем. Было установлено, что исключительно большое внимание следует уделять подготовке (очистке) поверхности перед напылением из-за низких температур подложки при напылении; толщина металлизации в местах, где осуществляется ультразвуковая приварка, должна быть не менее 0.7 мкм.

1. Процедура и техника контроля этапов технологического процесса.
2. Микротеплообменники, термоэлектрические охладители, криостаты.

Pages: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22