Фото-приборы

© fastdl.org

Микроскопия-основной способ контроля, важно – что контролировать, по каким признакам определять годность продукта
При формировании топологии структуры фотоприемника:
1. приклеивание лаком ХСЛ на стеклянный диск, сушка 20-30 мин при 80-90С;
2. очистка поверхности кристалла в УЗ-ванне – 3 мин, деионизованная вода;
3. Травление в бром-бутаноле 10-60 сек (2% брома);
4. взрывная фотолитография: ФП383, подсушивание 20-40мин при 80-90С, взрыв в диметилформамиде; вскрытие – концентрированная соляная кислота, 1-5 сек.
Составы травителей для выявления дислокаций (подсчет плотности дислокаций):
1-й раствор: насыщенный раствор BaCl2 в концентрированной HNO3;
2-й раствор: HNO3+HAuCl3 = 100:1;
температура 20С, время травления 5..6 секунд для первого состава и 6…10 секунд для второго состава.

Металлическая разводка
Металлическая разводка выполняет выполняет функции омических контактов к активным областям ФЧС и служит соединением этих областей с элементами мультиплексора.
В качестве контактов к п-области могут использоваться многослойные комбинации Cr-Au или Ti-Pt-Au; к р-области можно использовать композиции Ti-Pt-Au или Ni-Al-Ni. Оптимальные сооотношения толщин различных металлов в пленке определяются в процессе отработки технологии и оцениваются по омичности характеристик и величине переходного сопротивления. Омический контакт получают с металлами, у которых работа выхода меньше работы выхода для материала п-типа и больше работы выхода материала р-типа.

Криостатические устройства для приемников
Устройства охлаждения фотоприемников можно разделить по следующим позициям:
- холодильники для температур до 200К;
- холодильники до температур 78 К;
- холодильники для температур ниже 78 К.
В каждом случае практически значимыми характеристиками являются габаритно-массовые показатели охлаждающего устройства, рабочая температура, время выхода на режим, энергопотребление (или КПД), время безотказной работы, ремонтопригодность, стоимость.

Криостаты
Криостаты, или сосуды Дьюара, наиболее простые холодильные устройства по сравнению с остальными. С их помощью можно достигать температур до жидкого гелия (правда при рабочих температурах ниже температуры жидкого азота конструкция криостата становится существенно сложнее – в виде матрешки их криостатов). Материал криостата – стекло или металл. Внешняя металлическая рубашка делается, как правило, из нержавеющей стали, так как она обладает низкой теплопроводностью; внутренний цилиндр – сосуд, хранящий жидкий азот, имеет медный держатель фотоприемника и направляющую заливную трубу из сплава с низкой теплопроводностью (нержавеющая сталь). Окна в криостате изготавливают из оптической керамики (сульфид или селенид цинка), вакуумное уплотнение достигается с помощью индиевой прокладки, пайкой с помощью криогенных клеев.
Недостатком таких систем является необходимость эксплуатации приемника, как правило, только в вертикальном положении, не допускающем выливания хладоагента.

Pages: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22